4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche n, dadurch gekennzeichnet, dass der Beginn der Bestrahlung eines Abschnitts der oberen Schicht um ein Zeitintervall verzögert wird, welches in Abhängigkeit des das Temperaturprofil der unmittelbar darunter liegenden Schicht zumindest abschnittsweise charakterisierende Datensatzes oder in Abhängigkeit der die Temperaturprofile der darunter liegenden Schichten zumindest abschnittsweise charakterisierenden Datensätze gewählt wird.